《纳米技术》是“电子科学与技术”、“微电子科学与工程”、“集成电路工程”等学科、专业高年级学生的选修课程。主要讲授了纳米科技基础知识,纳米表征、观测与操纵技术,纳米材料、结构、器件的特性、制备方法及应用技术。通过学习本课程,学生将具备纳米基础知识,掌握纳米表征、加工技术,以及纳米材料、结构、器件在电、光、磁等领域的应用技术。为从事纳米材料加工,纳米新技术开发,纳米器件研制等工作奠定良好基础。
本课程内容新颖,紧贴纳米科技前沿,采用国内外最新研究文献和参考书籍作为电子教材。
使你了解什么是纳米科技,熟悉主要的纳米测量与表征技术、纳米加工技术、纳米应用技术,掌握关键纳米技术的原理、方法,以及应用。
单元测验为50分;课堂讨论为20分;结业考试为30分。
满分为100分。其中:60分以上(含60分)为合格,80分以上(含80分)为优秀。
应具备半导体物理及工艺的基础知识。
1. 纳米结构和材料,张立德,牟季美编著,科学出版社,2011,1
2. 纳米半导体材料和器件,肖奇编著,化学工业出版社2013、4
3. 纳米材料和器件,朱静编著,清华大学出版社2003、4
4. 纳电子学基础,G. W. Hanson著侯士敏等译,清华大学出版社2009、1
5. 杂志、网络资料