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半导体器件物理
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spContent=这是一门专门为从零开始学习集成电路知识学生开设的课程,它基本涵盖了微电子学专业硕博士研究生入学专业考试的主要内容,是系统学习集成电路工艺和设计的先修课,也是一门充分体现复旦大学微电子科学与工程专业教学水平与特色的课程。
—— 课程团队
课程概述
这是一门专门为从零开始学习集成电路知识学生开设的课程,它基本涵盖了微电子学专业硕博士研究生入学专业考试的主要内容。它是在复旦大学校内实际运行的上海市精品课程《半导体物理》和上海市重点课程《半导体器件原理》的基础上优化出来的一门课程。 在本课程中学生将学习半导体能带论、半导体载流子统计、半导体载流子输运、非平衡载流子、pn结、金属-半导体接触、半导体表面与MIS结构等半导体物理知识, 掌握半导体中电子运动规律和特点以及半导体的基本电学性质,进而学习双极型晶体管的直流特性、频率特性、开关特性和MOS场效应晶体管的阈值电压、直流特性、频率特性、开关特性以及小尺寸效应,掌握双极型晶体管和MOS场效应晶体管的工作原理和特性,理解影响器件特性的主要因素和晶体管中的常见非理想效应,了解小尺寸MOS器件的发展动态,为集成电路工艺和设计课程学习做准备。
授课目标

掌握半导体中电子运动规律和特点以及半导体的基本电学性质,掌握pn结、金半接触和MOS电容的工作原理与特性,掌握双极型晶体管和MOS场效应晶体管的工作原理和特性,理解影响器件特性的主要因素和晶体管中的常见非理想效应,了解小尺寸MOS器件的发展动态。

成绩 要求

平时成绩40%,期末成绩占总成绩的60%。

课程大纲
预备知识

本课程需要预修大学物理和高等数学,建议连续投入六周时间进行集中性学习。

参考资料
  1. 刘恩科,朱秉升 《半导体物理学》 国防工业出版社 2011

  2. 冯文修 《半导体物理学基础教程》 国防工业出版社 2004

  3. 叶良修 《半导体物理学》 高等教育出版社 1987

  4. R. M. Warner, B. L. Grung 《Semiconductor-Device Electronics》 电子工业出版社 2002

  5. K. Seeger 《Physics of Semiconductor: An Introduction》 Springer- Verlag 2004

  6. 曾树荣 半导体器件物理基础 北京大学出版社 2002

  7. 刘树林,张华曹,柴长春 半导体器件物理 电子工业出版社 2005

  8. 施敏(美)著,黄振岗译 半导体器件物理 电子工业出版社 1987

  9. 刘永,张福海编著 晶体管原理 国防工业出版社 2002

  10. S. Wolf Silicon Processing for the VLSI Era, Vol. 3 Lattice Press 1995

常见问题

这是一门专业性非常强的课程,需要坚定的毅力!学习本课程尚无捷径,唯有勤学苦练。