本课程是信息科学与工程学院专业选修的一门重要课程,形式为双语研讨课。该课程要求学生学习过《电路》、《电磁场理论》、《微波技术》、《电子学》或类似基础课程。本课程的主要教学目的是使学生了解石墨烯等相关新型二维材料的历史、研究现状及发展趋势,理解并掌握石墨烯在电子学领域的独特性能,充分了解石墨烯在可折叠式显示屏、可穿戴式电子、射频识别、太赫兹等电子学领域的应用及潜力,初步具备从事新兴学科研究的基本能力。为学生今后学习深造、从事新兴事物研究打下必要的基础,同时学生拓宽视野,使其了解国内外在二维材料相关领域的最新研究成果。
同时,针对2020年度疫情这一特殊情况,本课程采取网络授课与课堂教学相结合的方式,将选用《微电子工艺》网络课,系统介绍了微电子工艺基础知识,重点阐述了芯片制造单项工艺,包括:外延、热氧化、扩散、离子注入、化学汽相淀积、物理汽相淀积、光刻、刻蚀。还介绍了金属互连、典型工艺集成、关键工艺设备,以及微电子工艺未来发展趋势。通过本课程的学习能使学生对微电子工艺技术有全面了解,为该课程的后续课堂学习打下坚实基础,也利于提高学生的专业素养。
培养学生运用所学石墨烯知识,对接触到的石墨烯报道进行尽量客观的分析判断。通过网络课程教学,使学习者掌握微电子关键工艺的基本原理、方法、用途;熟悉主要工艺设备及检测仪器;了解典型集成电路芯片的制造流程。
平时成绩30分,科技演讲30分,大作业科技报告40分;满分100分。
大学物理,大学化学
电路、微波技术、电磁场理论
石墨烯部分:
1. Graphene: fundamentals and emergent applications, Jamie H Warner, Franziska Schaffel, Alicja Bachmatiuk and Mark H Rummeli, Elsevier, 2013.
2. Graphene-based energy devices, A. Rashid bin Mohd Yusoff, Wiley, 2015.
3. Physics and applications of graphene - experiements, Sergey Mikhailov, InTech, 2011.
4. Graphene: fundamentals, devices, and applications, Serhii Shafraniuk, Pan Stanford, 2015.
微电子工艺部分:
1. 王蔚、田丽等主编,集成电路制造技术—原理与工艺(第二版),电子工业出版社,2016
2. 美Stephen A. Campbell著,曾莹等译,微电子制造科学原理与工程技术,电子工业出版社