《纳微光机电系统基础》是一门聚焦微纳尺度光、机、电系统设计与制造的前沿交叉学科课程，涵盖从基础理论到实际应用的完整技术链。课程以 MEMS/NEMS（微机电/纳机电系统） 为核心，系统讲解光刻、薄膜沉积、真空技术、体微机械加工、纳米结构生长等关键工艺，并深入探讨传感器、执行器、封装技术及微系统集成方法。课程内容贯穿“设计-制造-表征-封装”全流程，结合硅基加工、LIGA工艺、电子束光刻（EBL）等先进技术，培养学生解决微纳系统复杂工程问题的能力。