微纳工程基础是一门培养学生前沿制造工程技术与工程思维能力的专业课，是机械工程专业微纳模块的必修课程。

 本课程通过理论教学，实验环节设置，使学生理解微纳工程领域的基础理论知识，初步掌握微纳制造的关键工艺技术及原理；具有对简单的微纳结构提出微纳制造工艺路线和方法的能力，和对复杂微机电系统器件的进行分析和评价的能力；初步掌握并使用现代化技术、技能与先进设计工具的能力；了解微纳工程在在国防、生物、信息、能源、医学等领域的实际应用，培养学生独立思考解决微纳工程领域实际问题的能力。

本课程以期末闭卷考试、实验考核、项目实践及平时成绩相结合：

1）平时成绩占15%：包括课后作业提交（10%）、出勤（5%）等情况；

2）项目实践占15%：包括1个大作业（5%）和1个实验报告（10%）：微纳加工工艺大作业、微纳工程基础实验报告；

3）期末考试占70%：闭卷考试。

材料力学，理论力学、电工电子技术

参考教材：

[1] 张德远，蒋永刚等著，微纳米制造技术及理论》，科学出版社，2015年10月，第一版

其他教辅资源：

[2] 范茂军等译，朱利安 W.加德纳等著，《微传感器、MEMS与智能器件》，中国计量出版社，2007年9月，第一版

[3] 苑伟政，马炳和著，《微机械与微细加工技术》，西北工业大学出版社，2000年8月第一版

[4] [德]W. Menz，王春海译，《微系统技术》化学工业出版社，2003

[5] 李德胜编著，《MEMS技术及其应用》，哈尔滨工业大学出版社，2002