薄膜物理与技术
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spContent=随着现代科技飞速发展，电子元器件、平板显示、大规模集成电路、信息记录与存储、微机电系统、物联网探测与感知、新型绿色能源等领域不断创新，已经广泛而深入地影响到了每个人的生活。而这些都离不开薄膜技术的发展。掌握薄膜制备的物理机制及技术工艺，已经成为高新技术人才不可或缺的知识基础。
—— 课程团队
课程概述

薄膜材料是现代电子元器件、微电子器件的材料基础。本课程授课对象为电子科学与技术、材料科学与工程等专业高年级的本科生。课程内容包括真空技术、物理气相沉积（蒸发、溅射）、化学气相沉积、化学溶液法镀膜、薄膜的生长以及薄膜结构、性能的测试技术和表征方法。本课程的开设，拟在引导学生掌握薄膜科学的基础知识，为学生进一步学习电子元器件和微电子器件研制奠定基础。通过本课程的学习，要求学生了解电子薄膜技术的发展概况，理解真空技术的相关知识，掌握薄膜沉积的技术体系，以及薄膜制备的多种技术方法，能够在薄膜沉积中考虑到各种技术参数对薄膜附着力、厚度均匀性、结构、缺陷的影响，并了解薄膜结构表征的方法。

课程大纲
预备知识

固体物理

证书要求

本课程采用百分制计分，平时单元作业20%，为主观题，需要完成作业提交和完成规定的互评数量；随堂布置的课程讨论的表现10%；课程结束考试70%。60分及以上为合格，85分及以上为优秀。

电子版的课程结业证书免费。纸质版认证证书证书收费：100元/人。


参考资料

1. 唐伟忠．《薄膜材料制备原理、技术及应用》第二版，冶金工业出版社，2003年1月

2.田民波 编著.《薄膜技术与薄膜材料》，清华大学出版社，2006年8月

3.杨邦朝，王文生．《薄膜物理与技术》，电子科技大学出版社，1994年1月

4. 曲喜新．《薄膜物理》，上海科学技术出版社，1986年10月

5. M. Ohring.《Material Science of Thin Films－Deposition & Structure》世图影印版，2006年