微电子制造技术（英文）
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课程详情
课程评价
spContent=微电子制造技术（英文）是电子制造相关专业的专业基础课程，其目的是使相关专业的学生掌握微电子器件的基本制造过程，对相关材料及制造方法有系统和深入的了解。本课程要求学生掌握晶圆制备、掺杂、薄膜制备、图形转移等微电子制造过程中的关键工艺技术，并熟悉真空、等离子体等相关技术和设备。本课程的重点是各项工艺过程的物理机制，难点是各项工艺的灵活运用、参数选择及相互配合。 本课程将采用全英文课件，在视频授课、练习及讨论中教师将使用全英文进行讲授，以配合电子制造类专业国际化程度高的特点，提升相关专业的国际化水平，提高学生综合素质以适应人才国际化的需求。
—— 课程团队
课程概述

This MOOC is designed for students majoring in electronics packaging and

electrical engineering. It can also be an introductory course for students with

backgrounds in microelectronics. This course focuses on how ICs are built

rather than how they are designed or how they operate. Various unit processes, such

as doping, thermal oxidation, thin film deposition, photolithography and etching,

are included. Students will learn in particular how each unit process is

carried out, what kinds of equipment are to be used, the science underlies the

corresponding micro- and nanofabrication engineering, and the process

integration for various microelectronic technologies. Students are assumed to

have learned the basic courses in physics, mathematics, and chemistry. At least

one course in semiconductor physics and devices including pn junctions and MOS

transistors are expected to have been completed.

授课目标

使电子制造相关专业的学生掌握微电子器件的基本制造过程，对相关材料及制造方法有系统和深入的了解。

课程大纲
预备知识

大学物理，大学化学

证书要求

为积极响应国家低碳环保政策， 2021年秋季学期开始，中国大学MOOC平台将取消纸质版的认证证书，仅提供电子版的认证证书服务，证书申请方式和流程不变。

 

电子版认证证书支持查询验证，可通过扫描证书上的二维码进行有效性查询，或者访问 https://www.icourse163.org/verify，通过证书编号进行查询。学生可在“个人中心-证书-查看证书”页面自行下载、打印电子版认证证书。

 

完成课程教学内容学习和考核，成绩达到课程考核标准的学生（每门课程的考核标准不同，详见课程内的评分标准），具备申请认证证书资格，可在证书申请开放期间（以申请页面显示的时间为准），完成在线付费申请。

 

认证证书申请注意事项：

1. 根据国家相关法律法规要求，认证证书申请时要求进行实名认证，请保证所提交的实名认证信息真实完整有效。

2. 完成实名认证并支付后，系统将自动生成并发送电子版认证证书。电子版认证证书生成后不支持退费。


参考资料

（1）张威, 李宇杰, 刘威.微电子制造原理与工艺. 哈尔滨：哈尔滨工业大学出版社，2020.

（2）Stephen A. Campbell，Fabrication engineering at the micro- and nanoscale (3rd ed). New York: Oxford Uniersity Press, Inc, 2008.

（3）王蔚, 田丽, 任明远. 集成电路制造技术——原理与工艺（第二版）. 北京：电子工业出版社，2016.