本课程是“电子信息科学与技术”、“微电子科学与工程”等专业的核心课程。全面系统地介绍了微电子工艺基础知识，重点阐述了芯片制造单项工艺，包括：外延、热氧化、扩散、离子注入、化学汽相淀积、物理汽相淀积、光刻、刻蚀。还介绍了金属互连、典型工艺集成、关键工艺设备，以及微电子工艺未来发展趋势。通过本课程的学习能使学生对微电子工艺技术有全面了解，为后续专业课程学习打下坚实基础。也利于学生专业素养的提高。

本课程特色在于对关键工艺所依托的理化基础知识进行了阐述，并通过实验视频对关键工艺参数测试技术也进行了介绍。

¨在校学生课堂教学期末考试采取笔试方式，考试成绩占总成绩的50%，平时成绩占10%（讨论、小测验等）； 线上课程占40%（线上课程总分100分，记录成绩总分40分）； 

线上课程平时作业（客观题）50分，讨论（以主观问题为主）20分；在线考试：30分；满分100分。总分超过60分，可获得合格证书，超过80分可获得优秀证书。