《纳米技术》是“电子科学与技术”、“微电子科学与工程”、“集成电路工程”等学科、专业高年级学生的选修课程。主要讲授了纳米科技基础知识，纳米表征、观测与操纵技术，纳米材料、结构、器件的特性、制备方法及应用技术。通过学习本课程，学生将具备纳米基础知识，掌握纳米表征、加工技术，以及纳米材料、结构、器件在电、光、磁等领域的应用技术。为从事纳米材料加工，纳米新技术开发，纳米器件研制等工作奠定良好基础。

本课程内容新颖，紧贴纳米科技前沿，采用国内外最新研究文献和参考书籍作为电子教材。

单元测验为50分；课堂讨论为20分；结业考试为30分。

满分为100分。其中：60分以上（含60分）为合格，80分以上（含80分）为优秀。

应具备半导体物理及工艺的基础知识。

第一讲 介绍绪论和第1章纳米技术基础知识

0 绪论 纳米技术是讲什么的...

第1章 纳米物质基础知识 1.1 纳米物质

1.2 纳米物质基础理论

1.3 纳米物质的理化特性

第一讲 小测验

第二讲 介绍常用的纳米表征方法，各类方法的应用

SEM应用实验

第2章 纳米表征技术 2.1 引言

2.2纳米检测技术的发展 2.3 纳米检测方法特点及分类

2.4扫描电子显微技术

2.5扫描探针显微技术

2.6扫描探针纳米加工技术

第二讲 小测验

第三讲 纳米材料制备技术

3.1定义、分类与应用

3.2 超微颗粒的制备与应用3.2.1固相制备方法3.2.2液相制备方法

3.2 超微颗粒的制备与应用3.2.3气相制备方法

3.3 富勒烯、纳米碳管、石墨烯3.3.1富勒烯技术3.3.2纳米碳管技术

3.3 富勒烯、纳米碳管、石墨烯3.3.3石墨烯技术

3.4 纳米薄膜的制备与应用3.4.1纳米薄膜的分类与性能3.4.2 纳米薄膜的制备技术3.4.3 纳米薄膜的应用

3.4 纳米薄膜的制备与应用3.4.4氮化硼纳米材料的制备

3.5 纳米块体材料及其制备3.5.1 纳米块状材料制备技术3.5.2 纳米块状材料性能

第三讲 小测验

第四讲 介绍第4章纳米结构构筑的前两节：4.1纳米膜及超晶格技术和4.2纳米光刻技术

4.1 纳米膜及超晶格技术，4.1.1 外延技术

4.1.2 CVD纳米膜技术，4.1.3 PVD纳米膜技术

4.2 纳米光刻技术，4.2.1 光刻简介

4.2.2 光刻工艺

4.2.3 光刻版和光刻胶

第四讲 小测验

第五讲 主要介绍第四章纳米结构构筑的后面几节：4.2.4刻蚀技术；4.3纳米压印技术；4.4模板合成技术；4.5自组装技术

4.2.4 刻蚀技术

4.3 纳米压印技术

4.4 模板合成技术

4.5 自组装技术

第五讲 小测验

第六讲 介绍第5章纳米器件中的5.1节固态纳米电子器件。并对学生报告进行了展示。

5.1 固态纳米电子器件 5.1.1 概述

5.1.2 纳米电子器件基础

5.1.3 共振隧穿器件

5.1.4 单电子器件

5.1.5 碳纳米管（线）场效应晶体管

学生报告展示1

学生报告展示2

第六讲 小测验

第七讲 介绍第5章纳米器件中的5.2节分子电子器件，5.3节纳米光电子器件和5.4节纳米磁性器件。并对学生讨论进行展示。

学生报告展示

5.2 分子电子器件 5.2.1 分子导体与导线；5.2.2 分子开关；5.2.3 分子整流器；5.2.4 交叉结构和分子存储电路

5.3 纳米光电器件 5.3.1 发光二极管；5.3.2 纳米半导体激光器；5.3.3 纳米太阳电池

5.4 纳米磁性器件 5.4.1 巨磁阻效应；5.4.2 GMR磁头；5.4.3 磁存储器；5.4.4 其它磁性器件

第七讲 小测验

1.     纳米结构和材料，张立德，牟季美编著，科学出版社，2011，1

2.       纳米半导体材料和器件，肖奇编著，化学工业出版社2013、4 

3.     纳米材料和器件，朱静编著，清华大学出版社2003、4

4.       纳电子学基础，G. W. Hanson著侯士敏等译，清华大学出版社2009、1 

5.   杂志、网络资料