课程概述

半导体物理与器件是微电子、光电子及新能源光伏等专业的必修课程,是后续专业课程学习的基础。通过课程的学习使学生掌握半导体物理和器件的基础理论,了解半导体的发展和应用。课程包含半导体课程先导知识,半导体物理及半导体器件三部分知识,重点介绍半导体材料和器件的结构、载流子的统计和运动规律、外场同半导体材料和器件之间的相互作用。课程团队希望通过通俗化、生活化、图像化的授课方式,激发学生的学习兴趣,为应用型本科院校相关专业学生提供有效的学习途径。



证书要求

课程成绩由两个部分构成:

单元测验:根据教学内容,安排单元测验,由客观题构成,占总成绩的40%

期末考试:根据课程内容,安排期末考试,由客观题构成,占总成绩的60%

 

总评成绩60分以上为合格,90分以上为优秀



预备知识

先修课程主要为大学物理。



授课大纲

1. 绪论(2学时)

1)半导体产业发展;

2)半导体与新能源。

重点:让学生对半导体产业有一个宏观的认识,激发学习兴趣;

难点:树立起学习的兴趣

2. 半导体先导知识(4学时)

    1)量子力学的肇始;

2)薛定谔方程的建立与应用;

3)晶体结构;

4)课程小结。

重点:量子观念的建立,薛定谔方程、物质波概念、波函数的理解

难点:薛定谔方程的应用

3. 半导体中的电子状态和能带(6学时)   

    (1)半导体晶体结构;

2)半导体中的电子状态与能带形成;

3)半导体中的电子运动与有效质量;

4)半导体的导电机构:空穴;

5)常见半导体的能带结构;

6)课程小结。

重点:常见半导体晶体结构与能带特点,能带的基本图像,空穴,有效质量

难点:K空间的理解,空穴概念的引入,能带思维

4. 半导体中的杂质和缺陷能级(2学时)

    1)半导体中的杂质与缺陷;

2)半导体施主杂质与施主能级;

3)半导体受主杂质与受主能级;

4)杂质补偿效应与深能级杂质;

5)半导体掺杂的典型方式;

6)课程小结。

重点:杂质缺陷能级的特点,对半导体导电性的影响,深能级概念,掺杂手段

难点:导带、价带、杂质能级上电子的区别,电离的过程

5. 平衡半导体中载流子的统计分布(6学时)

    1)状态密度的定义与求法;

2)费米分布与玻尔兹曼分布函数;

3)导带和价带中载流子的浓度计算;

4)本征半导体的载流子浓度;

5)杂质半导体的载流子浓度;

6)简并半导体概念与特征;

7)课程小结。

重点:本征、杂质半导体载流子的统计,费米分布函数的特点,费米能级物理意义的理解,简并半导体的特点

难点:状态密度的求法,费米、玻尔兹曼分布函数的各自适用范围,费米能级的理解,图像法分析不同半导体的载流子浓度

6. 半导体的导电性(4学时)

    1)载流子的漂移运动和迁移率;

2)载流子散射的机构;

3)迁移率与杂质浓度和温度的关系;

4)电阻率与杂质浓度和温度的关系;

5)强电场效应;

6)课程小结。

重点:载流子的运动形式,常见半导体的散射机构,迁移率的影响因素,电阻率的影响因素

难点:分段法分析迁移率、电阻率的变化规律,散射几率的理解,迁移率的理解

7. 非平衡载流子(6学时)

    1)非平衡态与非平衡载流子;

2)复合理论与陷阱效应;

3)载流子的扩散运动;

4)爱因斯坦关系式;

5)连续性方程;

6)课程小结。

重点:平衡态与非平衡态,准费米能级的概念,复合类型,扩散运动,爱因斯坦关系式,连续性方程

难点:直接复合与间接复合微观过程的分解与分析思路,扩散与漂移运动的内在联系,连续性方程的应用

8. pn结基础理论(6学时)

    1pn结的形成;

2pn结的能带图;

3pn结的电流电压特性;

4pn结电容;

5pn结击穿;

6)课程小结。

重点:pn结空间电荷区的特点,pn结在不同状态下的能带图,理想pn结电流电压特性,结电容来源,结击穿类型

难点:能带图的画法和理解,电荷区电荷分布、电场分布和电势分布

9. 金半接触和异质结(4学时)

    1)金属半导体接触及其能带图;

2)欧姆接触与肖特基接触;

3)半导体异质结类型;

4)半导体异质结能带图;

5)课程小结。

重点:功函数,电子亲和能的概念,阻挡层与反阻挡层的条件,异质结类型及能带图

难点:金半接触、异质结能带图画法和分析

10. 半导体表面与MIS结构(4学时)

    1)表面电场效应;

2)表面空间区的基本性质;

3MIS结构的C-V特性;

4Si-SiO2系统;

5)课程小结。

重点:空间电荷层,表面势的概念,多子积累、平带、耗尽及反型状态,MIS结构的C-V特性曲线,硅-二氧化硅系统电荷基本类型

难点:表面层状态的分析,C-V特性的影响因素

11.新能源中的半导体应用(4学时)

    1)半导体的光学性质;

2)半导体光器件;

3)半导体光催化;

4)半导体热电效应与器件;

5)课程小结。

重点:直接带隙与间接带隙,半导体光吸收,太阳能电池的工作原理,LED及半导体激光器,半导体光催化,塞贝克效应,帕尔贴效应

难点:在实际应用中回溯半导体理论知识,分析器件工作的影响因素


参考资料


   材:

《半导体物理学》, 电子工业出版社(第七版),刘恩科等编

参考书:   

1、《固体物理基础》, 北京大学出版社阎守胜编著

2、《半导体物理学》,高教出版社叶良修编

3、《半导体器件物理与工艺》, 苏州大学出版社施敏著

4、《半导体器件基础》清华大学出版社Betty Lise Anderson, Richard L.  Anderson 著,邓宁等译

5、《半导体器件物理与器件》- 基本原理(影印版)清华大学出版社,Donald A. Neamen