薄膜物理与技术
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spContent=随着现代科技的飞速发展,电子元器件、平板显示、集成电路、信息存储、微机电系统、物联网探测与感知、绿色能源等领域不断创新,广泛而深入地影响了每个人的生活。而这些都离不开薄膜技术的发展。掌握薄膜制备的技术方法,理解薄膜生长的物理机制,已经成为高新技术人才不可或缺的知识组成部分。
—— 课程团队
课程概述

薄膜材料凭借其微小的体积和优异的性能,在建筑、水利、环境、机械、航空航天、信息、能源、生物医学、电子等国民经济主要行业和领域中发挥着越来越重要的作用。本课程面向所有理工科高年级本科生以及研究生,课程内容包括真空技术简介、物理气相沉积、化学气相沉积、化学溶液法镀膜、薄膜的生长以及薄膜结构、薄膜性能测试技术和表征方法。课程的开设旨在引导学生了解电子薄膜技术的发展概况,理解真空技术的相关知识,掌握薄膜沉积的技术体系以及薄膜制备的多种技术方法,能够在薄膜沉积中综合考虑工艺参数对薄膜附着力、厚度均匀性、结构以及缺陷的影响,并初步掌握薄膜结构表征的方法。为进一步开展薄膜材料的制备和应用研究奠定基础。

授课目标

通过课程学习,了解电子薄膜技术的发展概况,真空技术的相关知识和薄膜沉积的技术体系,掌握薄膜制备的技术方法,能够在薄膜沉积中考虑到各种技术参数对薄膜附着力、厚度均匀性、结构、缺陷的影响,并了解薄膜结构性质表征的方法。


课程大纲
预备知识

固体物理

证书要求

为积极响应国家低碳环保政策, 2021年秋季学期开始,中国大学MOOC平台将取消纸质版的认证证书,仅提供电子版的认证证书服务,证书申请方式和流程不变。

 

电子版认证证书支持查询验证,可通过扫描证书上的二维码进行有效性查询,或者访问 https://www.icourse163.org/verify,通过证书编号进行查询。学生可在“个人中心-证书-查看证书”页面自行下载、打印电子版认证证书。

 

完成课程教学内容学习和考核,成绩达到课程考核标准的学生(每门课程的考核标准不同,详见课程内的评分标准),具备申请认证证书资格,可在证书申请开放期间(以申请页面显示的时间为准),完成在线付费申请。

 

认证证书申请注意事项:

1. 根据国家相关法律法规要求,认证证书申请时要求进行实名认证,请保证所提交的实名认证信息真实完整有效。

2. 完成实名认证并支付后,系统将自动生成并发送电子版认证证书。电子版认证证书生成后不支持退费。


参考资料

1. 唐伟忠.《薄膜材料制备原理、技术及应用》第二版,冶金工业出版社,20031

2.田民波 .《薄膜技术与薄膜材料》,清华大学出版社,20068

3.杨邦朝,王文生.《薄膜物理与技术》,电子科技大学出版社,19941

4. 曲喜新.《薄膜物理》,上海科学技术出版社,198610

5. M. Ohring.Material Science of Thin FilmsDeposition & Structure》世图影印版,2006