spContent=本课程从半导体材料的组成和性能、薄膜的沉积和刻蚀等方面介绍微纳加工的基本原理以及在平板显示、太阳能电池、微机电系统、集成电路制造等高端领域的技术应用。内容包括微纳加工的材料科学、通用技术、有机发光二极管屏幕蒸镀、互补金属氧化物半导体薄膜、微纳器件、芯片光刻等。在分析目前我国在这个领域的“瓶颈技术”，同时也介绍我国科技在本专业领域前沿的突破成就，增强自信心，激发同学勇于探索的科学热情和创新意识。 本课程使学生从材料学的角度来深入系统得掌握面向半导体器件和微电子产业的微纳加工技术与材料的专业基础知识、核心理论、基本技能、通用和专业技术；通过教学活动培养自主学习的习惯；加强团队协作和沟通交流的能力；提升学术交流与学术表达的能力；养成在科学研究工作中批判性思维和自我深造的能力；实现对学生的学科知识、专业能力、科学素养的一体化训练。