薄膜物理与技术
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spContent=随着现代科技的飞速发展,电子元器件、平板显示、集成电路、信息存储、微机电系统、物联网探测与感知、绿色能源等领域不断创新,广泛而深入地影响了每个人的生活。而这些都离不开薄膜技术的发展。掌握薄膜制备的技术方法,理解薄膜生长的物理机制,已经成为高新技术人才不可或缺的知识组成部分。
—— 课程团队
课程概述

薄膜材料凭借其微小的体积和优异的性能,在建筑、水利、环境、机械、航空航天、信息、能源、生物医学、电子等国民经济主要行业和领域中发挥着越来越重要的作用。本课程面向所有理工科高年级的本科生以及研究生,课程内容包括真空技术简介、物理气相沉积、化学气相沉积、化学溶液法镀膜、薄膜的生长以及薄膜结构、薄膜性能测试技术和表征方法。课程的开设旨在引导学生了解电子薄膜技术的发展概况,理解真空技术的相关知识,掌握薄膜沉积的技术体系以及薄膜制备的多种技术方法,能够在薄膜沉积中综合考虑工艺参数对薄膜附着力、厚度均匀性、结构以及缺陷的影响,并初步掌握薄膜结构表征的方法。为进一步开展薄膜材料的制备和应用研究奠定基础。

课程大纲
预备知识

固体物理

证书要求

本课程采用百分制计分,平时单元作业20%,为主观题,需要完成作业提交和完成规定的互评数量;随堂布置的课程讨论的表现10%;课程结束考试70%。60分及以上为合格,85分及以上为优秀。

电子版的课程结业证书免费。纸质版认证证书证书收费:100元/人。


参考资料

1. 唐伟忠.《薄膜材料制备原理、技术及应用》第二版,冶金工业出版社,20031

2.田民波 编著.《薄膜技术与薄膜材料》,清华大学出版社,20068

3.杨邦朝,王文生.《薄膜物理与技术》,电子科技大学出版社,19941

4. 曲喜新.《薄膜物理》,上海科学技术出版社,198610

5. M. Ohring.Material Science of Thin FilmsDeposition & Structure》世图影印版,2006